擴散半導體壓力傳感器，又稱硅壓力傳感器。這里有三個主流的擴散半導體壓力傳感器。

這種類型的傳感器在80℃以下測量空氣等非腐蝕性氣體，需要用硅凝膠等軟樹脂包裝，即將硅片粘接到金屬底座上，然后引出連接線。為了提高可靠性，用硅凝膠填充成型，其優點是成本很低。其原理是待測氣體通過與管殼上的管道連接的橡膠管導入，壓力通過硅凝膠導入，作用于圓形隔板的上部，下部受到大氣壓力。在壓力下，兩個壓差使隔板凹陷。

該硅壓力傳感器安裝在發動機系統中，為了耐汽油蒸汽的110℃高溫，穩定工作，這里不能使用樹脂，需要在金屬底座上用玻璃連接硅片和硅座。

金屬底座和硅片的熱膨脹系數不同，所以用5毫米厚的硅片緩沖。管道安裝在無組件的硅片內側，當管殼為真空時檢測絕對壓力。

流量計采用硅壓力傳感器，內部填充液體，主要用于油壓和成套設備作為流量計。其結構是將硅片安裝在底座上后，用薄型SUS隔板密封管殼上部，內部密封硅油。由于測量體只接觸SUS隔板，可以承受一些腐蝕性氣體和液體，其特點是成本高。

另外，硅壓力傳感器的檢測方式有三種：壓差顯示的壓力型、絕對壓力型和硅片兩側管道的二差壓型。

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