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壓力傳感器的工作原理及溫度誤差補償方法

時間:2021-11-23 點擊次數:

壓力傳感器的工作原理及溫度誤差補償方法分析:

由于社會的飛速發展,我們的壓阻式傳感器也在迅速發展,所以您對壓阻式傳感器的詳細解析有什么了解嗎?下面就讓小編帶你詳細的了解一下相關知識。

壓阻傳感器原理。

壓阻傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應,結合集成電路技術制作的傳感器。單晶體硅受力后,其電阻率變化,通過測量電路可獲得與作用力變化成比例的電信號輸出。壓阻傳感器用于測量和控制壓力、張力、壓差和其它物理量(如液位、加速度、重量、應變、流量和真空)。

壓阻傳感器是以半導體材料的壓阻效應為基礎,通過擴散電阻在半導體材料基片上而形成的??芍苯邮褂没遄鳛閭鞲性?,在基片上以橋接方式連接擴散電阻。在外力作用下,基板的電阻值將發生變化,電橋將產生相應的不平衡輸出。作為壓阻傳感器的基材(或隔膜)材料主要為硅片和鍺片。用硅晶片作為敏感材料的硅壓阻式傳感器越來越受到人們的重視,特別是在壓力測試中。固體壓阻傳感器在速度和速度方面最常用。

壓力傳感器一般應用在哪些地方?

壓力傳感器在航天、航空、航海、石化、電力、生物醫學工程、氣象、地質、地震測量等領域有廣泛的應用。在航天航空工業中,壓力是一個重要的參數,對靜態、動、分壓及整體壓力都有較高的測量精度。壓阻傳感器是一種理想的傳感器。比如,測量了直升機機翼的風壓分布,測定了其進氣的動力畸變、葉柵脈動壓力、機翼抖動等。采用特殊設計的硅壓敏傳感器,對飛機噴氣發動機中心壓強進行了500℃以上的測試。為實現這一目標,波音客機空氣數據檢測系統采用了硅壓力傳感器,精度達到0.05%。本文提出了一種新型的壓阻式風洞模型試驗方法,該方法是將壓阻傳感器密集安裝在風洞模型上。

每個傳感器的直徑只有2.36mm,固有頻率達到了300kHz,并且具有完全范圍內的非線性、滯后±0.22%。壓阻傳感器是生物醫學中最理想的檢測工具。本公司制作了一種細至10微米、外徑僅0.5毫米的擴散硅薄膜的注射針壓阻式壓力傳感器,可以測量心血管、顱內、尿道、子宮和眼球中的壓力。圖示3是一個用于測量腦內壓力的傳感器。壓阻傳感器也可有效地應用于測量爆炸壓力和沖擊波、真空測量、汽車發動機性能的監控、以及測量炮管壓力、發射沖擊波等武器。另外,壓阻傳感器被廣泛地應用于井下的壓力測量,隨鉆和地下密封電纜的故障點定位,以及流量和液位的測量。微電子學和計算機的進一步發展,使壓阻傳感器的應用有了很大的發展。

為什么壓阻傳感器產生溫度誤差?

壓阻傳感器有兩種類型:一種是利用半導體材料的電阻來制造半導體應變傳感器,另一種是用集成電路技術在半導體材料基板上制造擴散電阻,組成傳感元件。

壓阻傳感器受溫度影響較大,會產生零漂移和靈敏度漂移,造成溫度誤差。壓阻傳感器中,擴散電阻的溫度系數很大,其阻值隨溫度變化而發生零漂移。

壓阻系數隨溫度變化而引起傳感器靈敏度的溫度漂移。隨著溫度升高,壓阻系數減小,傳感器靈敏度下降。相反,提高靈敏度。零溫度漂移通??梢杂么⒙撾娮柽M行補償。利用串聯二極管的方法對電橋的電流進行靈敏度補償。另外,該壓阻傳感器可將四個擴散電阻連接到一個全橋上。為了降低溫度的影響,可以使用恒流源電源。

可見,電橋的輸出與電阻的變化成正比,即與測量值和電源電流成正比。由于恒流源輸出電壓與恒流源電流的大小和精度有關,但與溫度無關,因此恒流源有許多良好的溫度補償。

上述是對壓阻式傳感器相關知識的詳細解析,需要大家在實際工作中不斷積累經驗,這樣才能設計出更好的產品,使我們的社會更加美好。

如果您有測力傳感器的需求請直接聯系我們,力準傳感歡迎您的蒞臨與合作。


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