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壓阻式壓力傳感器的制造工藝概述

時間:2020-12-15 點擊次數:

典型的壓力傳感器可以分為壓阻、電容、壓電、共振、伺服控制和CMQS集成等幾種類型。壓阻式壓力傳感器又稱擴散硅壓力傳感器,其制造工藝簡單,線性好,價格一般也比較低,但對溫度比較敏感,有可能會出現溫度漂移,而且靈敏度較低,典型產品的技術參數如下。

一是不同的工作原理。


壓阻式壓力傳感器的制造工藝概述(圖1)

采用單晶硅的壓阻效應,構成壓阻式壓力傳感器。

大多數壓電式壓力傳感器都采用正壓電效應來制作。

二是側重點不同。

壓電式壓力傳感器當晶體受到一個固定方向的外力的作用時,在其內部會產生電偏振現象,同時在兩個表面上會同時產生符號相反的電荷;當外力被移走之后,晶體又回到不帶電的狀態;當外力的方向發生變化時,電荷的極性也會發生變化;晶體的電荷量與外力的大小成正比。

壓阻式壓力傳感器以單晶硅片為彈性元件,采用集成電路工藝,在單晶硅膜片上沿一定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接合到橋路上,將單晶硅片置于傳感器腔中。單晶硅在壓力變化時會產生應變,使得應變電阻直接擴散到上面,產生正比于被測壓力的變化,然后通過橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。

三是結構不同。

壓電式壓力傳感器是基于壓電效應的傳感器。其類型和型號多種多樣,按其彈性敏感元件的形式和受力機構可分為膜片式和活塞式兩種。隔膜式主要由本體、隔膜和壓電元件組成。

壓阻傳感器采用集成工藝在單晶硅薄膜上集成電阻條,制作硅壓阻芯片,并將該芯片的周邊固定封裝在薄膜內,引出電極引線。

壓力表是用來測量工質壓力的元件,其輸出一般為連續模擬信號。壓力開關是根據壓力控制電路而關閉的元件,其輸出通常為開關值。


壓阻式壓力傳感器的制造工藝概述(圖2)


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