行業自動化是一個引人注目的行業，并且正在向新的方向發展。產品多樣化，定制化和差異化的需求越來越大，使得制造商難以大批量生產零部件。

因此，小批量和批量生產會給企業帶來巨大的成本。于是，很多公司開始探索工業自動化領域的新技術和新機會，其中一項就是微電子機械系統(微型機電系統)。從機械機械到電子，這是一個微型機械機械的時代。

微機電系統-半導體先進技術。

微型計算機系統體現了一種先進的半導體技術，它包括移動元件和電子元件的單一芯片。

微機電系統制造過程包括體積微機械加工，包括對基材進行局部蝕刻或用化學品清除基材的成型結構，表面微機械加工，其中材料沉積在基材上，成形結構。

微機電系統技術所提供的可靠性、可擴展性、靈敏度和性價比高的解決方案，給工業自動化領域提供了廣闊的應用前景。

壓力傳感器和慣性傳感器(如加速度計和陀螺儀)是微型機電系統中對工業自動化有影響的傳感器類型。

比如硅微機械壓力傳感器在工業過程控制、汽車檢測、液壓氣動監測/控制等領域的應用。其他廣泛應用的壓力傳感器包括冰箱狀態監測，制冷劑回收，高壓VAC風扇控制或變風量測量，壓力遞增檢測，泄漏和壓降檢測，以及許多其它工業控制應用。

微機械機械電子系統技術對于工業機器人尤其有利，因為這種技術可以應用在觸覺傳感器，導航或接近傳感器上。

工業領域中的一些非微型機電系統近程傳感技術由于商業可行性不高，因而在近程或位置傳感器的制造方面的研究受到了限制。

但是，微機電系統技術允許開發或生產成本低廉的觸覺傳感器，它能讓機器人獲得感知信息，并以一種更普遍、更自主的方式做出決策和行動。

微結構化的發展趨勢為多傳感器應用于機器人、生產工藝、過程控制、生物技術及生命科學等領域提供了機遇。同時，多傳感器增強了多參數準確、可靠測量的能力。

有一種微機電系統裝置制作了一系列適用于高溫環境的傳感器陣列。它由氧化錫傳感器、基于碳化硅的混合氮氧化物傳感器、碳化合物傳感器和氧化傳感器組成。該傳感器以電阻、二極管和化學電池為不同的工作原理，每個傳感器對環境中的單個氣體有完全不同的反應。

該裝置適用于高溫環境，可以監控化學品。隨著多傳感器技術的不斷發展，多傳感器技術可以提供大量的數據和信息，從而提高系統的性能。

同時，微機電系統濕度傳感器在工業生產中具有很大的應用潛力，主要應用于各種工業中。

由微型計算機電系統制造的熱電堆是紅外傳感器，它可以在各種工業應用中測量溫度變化，例如，表面溫度監測和包裝。它還被用在紅外線氣體測試儀中，用來檢測二氧化碳，還用于建筑物的通風。

熱電堆紅外傳感器采用微機電系統，可在硅體腐蝕下制備導熱率低的薄膜。微機電系統熱電堆徑向裝在薄膜上。熱電堆測量了接觸到紅外線輻射后，薄膜中心和周圍溫度的變化。

微機電系統技術有很大的潛力降低成本。由于易于成批生產，舉例來說，模擬器公司的生產方法已經標準化，每年能運送數百萬臺發動機。該工藝相對于傳統的傳感器制造工藝簡化，耗時短。

微機電系統技術也是一種標準化的表面微機械加工技術，它是目前在微機電系統CAP中用多晶硅制造微機電系統設備最廉價的制造技術之一。

硅膠是制造微型機電系統設備的主要材料，它能使微型機電系統既經濟又有效。

與傳統傳感器相比，微機電系統的傳感器更加靈敏。因此微機電系統中的傳感器比傳統傳感器有更大的優越性，尤其在高精度、高精度的應用中。

傳感器小型化的優勢：小型化是電子或機械設備市場的主流趨勢。

微機電系統技術提供了在小區域中填滿更多微機電系統部件，從而減小特定產品的整體尺寸的能力，多功能微型機電系統組件，可增強產品功能，例如工業機器人等。

深圳市力準傳感技術有限公司是專業研發生產高品質、高精度力值傳感器的廠家。主要產品有微型力傳感器、稱重傳感器、多軸力傳感器、控制儀表、扭矩傳感器、拉壓傳感器、S型傳感器、環形傳感器、柱式傳感器、壓力變送器、液壓傳感器、軸銷傳感器、微型位移傳感器、及手持儀等達千余種產品。

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