為提高微型壓力傳感器的精度，可從優化設計制造工藝、選用優質材料、改善工作環境以及提升信號處理水平等方面著手，具體方法如下：

優化設計與制造

優化結構設計：通過有限元分析等方法，對傳感器的結構進行優化，使壓力能均勻、準確地傳遞到敏感元件，減少應力集中和結構變形。例如，合理設計膜片的形狀、厚度和支撐結構，以提高傳感器的線性度和穩定性。

采用高精度制造工藝：利用先進的微機電系統（MEMS）制造技術，提高光刻、蝕刻等工藝的精度，確保敏感元件的尺寸精度和表面質量。嚴格控制制造過程中的工藝參數，減少工藝偏差，以保證傳感器性能的一致性和準確性。

選用優質材料

選擇高性能彈性材料：挑選彈性模量穩定、蠕變和滯后特性小的彈性材料作為傳感器的壓力敏感元件。如鎳基合金、鈹青銅等材料，具有良好的力學性能和穩定性，能有效提高傳感器的精度和長期穩定性。

采用穩定性好的敏感材料：對于壓阻式微型壓力傳感器，選用溫度系數小、壓阻系數穩定的壓阻材料，如單晶硅等。同時，可通過摻雜等工藝對材料進行優化，提高其性能穩定性。

改善工作環境

進行溫度補償：采用硬件補償或軟件算法補償的方式，對溫度引起的誤差進行修正。硬件補償可通過在傳感器電路中加入溫度傳感器和補償電路，實時監測溫度并調整傳感器的輸出；軟件算法補償則是利用建立的溫度 - 壓力模型，對測量數據進行計算修正。

控制濕度影響：對傳感器進行密封處理，防止水汽進入內部影響性能。同時，在濕度變化較大的環境中，可采用濕度預處理等方法，使傳感器適應環境濕度的變化，減少濕度對測量精度的影響。

降低振動與沖擊干擾：在傳感器安裝和使用過程中，采取減振措施，如使用減振支架、橡膠墊等，減少外部振動和沖擊對傳感器的影響。對于無法避免的振動環境，可通過設計抗振結構或采用數字濾波等算法，對振動干擾進行抑制和消除。

提升信號處理水平

采用高精度放大電路：設計具有高增益精度、良好線性度和低噪聲的放大電路。選用優質的運算放大器和電子元件，合理設計電路參數，以確保傳感器輸出的微弱信號能夠準確、無失真地放大到合適的電平，為后續的處理和測量提供高質量的信號。

提高模數轉換精度：選用高分辨率、高精度的模數轉換器（ADC），增加數字信號對模擬信號的表示精度，減少量化誤差。同時，合理設置 ADC 的采樣頻率和采樣點數，確保能夠準確捕捉傳感器輸出信號的變化，提高測量的分辨率和精度。

數字信號處理與校準：利用數字信號處理算法，如濾波、去噪、線性擬合等，對傳感器輸出的數字信號進行進一步處理，提高信號質量和測量精度。此外，定期對傳感器進行校準，通過與標準壓力源進行比對，建立校準曲線，并根據校準結果對傳感器的測量數據進行修正，確保測量結果的準確性。